某半导集成ic生产九正通明在晶圆加工处理时中,选用硅烷去硅本质植物生长,空气清洗塔形成高渗透压含硅工业污废水 。工业污废水 兼有pH下跌大(2-11)、硅纯度高的作用,传统型处理策略易显示硅垢堵塞了的问题。
废水处理基本成分及种类
污废水 主要化学成分为:
溶于性硅酸盐
:SiO₂溶度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢硫化钠
:洗洁塔耐酸碱洗洁液残余
颗粒剂硅
:纳米级级SiO₂悬浊液
痕量砷
:辅料硫氰酸盐进入
治疗加工操作流程
信息化通过"二级结合+膜过滤清洁+挥发沉淀"技术:
第一中合
:用CaO可以调节pH至4-5,形成硅酸钙滤渣,硅清理率60%。
二次与
:加Na₂CO₃将pH提升自己至9,进两步乳浊液剩下的硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置系统的
:0.02μm陶瓷制品膜净化纳米级级硅粉末,通量安全在80LMH。
MVR冷却器器
:溶缩高盐污废水 ,晶体出Na₂SO₄副车辆,水造纸废水处理率超90%。
终结作用
总硅从1500mg/L降为5mg/L接下来
砷含铁从0.8mg/L减少为0.01mg/L
软件系统无积灰操作可超过2年
次年出售盐酸钠结晶体约800吨