该厂为8寸大晶圆生产方式线生活设施的超去离子水程序，每顿饭导致含硅废水加工处理150吨。废水加工处理中虽无血本属，但硅含磷量高易积灰，且热敏电阻率需提高18MΩ·cm才能够中水回用。增加了加工处理工学艺时未符合新发布的《电子器材工业品水空气固体废弃物废气规格规格》（GB39731-2020）有点废气规格卫生防护距离。 工业废水材料优点 最主要污染源物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒度分布0.1-1μm） 特别的标准要求 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 水体质量基本特性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅氧化物价值形式多样化 加工处理加工制作工艺 步骤 转型升级利用"梯级膜分割+电去阳离子"组合名字生产工艺： 微滤预进行处理 ：1μm瓷器膜屏蔽广告大颗粒物硅，通量形成80LMH 正离子交流光敏树脂 ：D201大孔光敏树脂首选性溶解硅酸分子式 五级RO设备 ：独一段利用率60%，最后段用高脱硼膜器件 EDI电去阴阳离子 ：直流电压相对密度2A/m²，快速剔除残余物化合物 紫外线消菌 ：254nm紫外光线的用药量40mJ/cm² 技木成效 规划设计专用型阻硅剂（生物碳胺类混合物），延长时间膜弄脏定期3倍 EDI接口创新技术流道设计方案，硅剔除率不断提升至99.8% 手机在线硅浅析仪（測量标准0.1-500μg/L）保持准确控住 正常运行成果 经第三个方加测： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含铁从8μg/L降到0.3μg/L 系统的回收利用率从原40%提高至68% 膜换时期提高至5年，年正常运行成本投入影响35%